高精密直驱平移台

产品介绍

LZSI115U系列位移台：重复定位精度±0.3μm、行程50mm至200mm、可加装拖链。特点：超静音；高速度；高加速；高灵敏特点。此款位移台导轨滑块集成数字量编码器，导轨自身作为光栅尺，可以通过控制器进行插补从而保证产品重复定位精度以及定位精度。此产品无需转接板就可搭建二维平移台，也可以于其他系列搭建X.Y.Z/X.Y.R等...轻松实现二维三维四维运动。该产品可平替NEWPORT ILS-LM系列产品。